1. Chemical 施工重点事项

    上部FAB 收尾现场   Process 使用的有/无机 Chemical 供应管道的品质及安全为目的而施工，
施工时注意 Particle 及周围材料破损，使其维持 High Purity。

管道工程重点品质管理 Point

股长工程重点品质管理 Point

2. Support 安装

-Support 安装: C-Channel(60*30*4T), 基本 1.2M的间距安装.
-电工关卡(I-Lod) 专用Cover安装
-膨胀螺丝安装后玻璃胶收尾

3. Chemical 管道安装

4. Chemical 管道施工

5. Chemical 管道检查 Flow

6. Chemical 施工

7. Leak & Request 构成(列)

8. CLK 通讯 Flow