P-GAS

2021-02-25

1. Toxic Gas Duct 施工

保护Toxic Gas管道免受外部冲击,为安全供应的Duct安装工作


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2. Toxic Gas 管道安装及焊接作业

高纯度Gas从供给装置到设备的稳定、灵活供应的管道安装工作。


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3. Toxic Gas Heater Line 安装作业


低压 Gas在供给时压力低,在管道上设置了 Heater Line 提高供给压力以供应伟目的


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4. 标准材料使用

惰性气体(16种),可燃气体(15种)中有single Melt材质
腐蚀性气体(13种)采用Double Melt材质管网标准化。(Precursor Liquid : Double Melt)


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5. 主要工具使用

Bending 作业
(1). Bending作业为了防止Tube内部组织裂纹,使用R65以上的Long-Bender进行作业。
(2). 不能进行Bending作业的区间使用Welding Elbow进行作业。


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Tube Cutting 作业


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Tube Cutting面加工


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Welding   作业


1. 服装状态:无尘服, 无尘手套(Clean Glove) 口罩, 无尘鞋
2. 焊接条件
   a.Gas Backing :Ar 6N 99.9999 Spec,
   b. Purge Header H2O : ≤50 ppb
   c. Purge Header   O2 : ≤200ppb   
   d. Purge Header Particle 管理基准:0.014㎛ 10ea 以下 10分 3回 连续 Check
   e. Purge 用 Tube Hose: 1/8” SUS 316L Tube or 1/4”SUS 316L Tube 应用
   f. Shield gas :Ar 纯度 99.999%
   g. Weld Head → Calibration 调整以上有无确认
   h. Weld Head → IPA 使用清扫作业(随时确认)
   i.   Back Purge→ 所有 Gas Line 末端部位 Manometer 应用后焊接


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6. Test 作业基准

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